二手 CANON / ANELVA I-1012 #9148534 待售

CANON/ANELVA I-1012溅射设备是为提供精确、可靠和高度可控的薄膜沉积而开发的先进工业工具。系统由一个配有两个平面阴极（或电子枪）、高压直流电源和真空单元的主腔室组成。所施加的阴极电压和电流可以独立变化，允许受控的均匀溅射过程。还包括一个闭环气流控制器，以确保精确的物料输送和蒸发到目标。CANON I-1012可以容纳直径不超过12英寸的目标,以及尺寸不超过3立方英尺的加工室。该机器的设计目的是使各种材料如金属、陶瓷、氧化物和氮化物的溅射涂层沉积。它甚至有能力将最坚硬的金属，如钨、钛和铵，沉积在包括纸、塑料、玻璃、硅、铜、铝和不锈钢在内的多种基板上。ANELVA I-1012具有良好的膜均匀性,厚度和成分公差约± 1%。刀具的1-2秒循环时序是批处理的理想选择。I-1012还具有独立的电极控制，在目标的大面积上具有均匀且可复制的涂层厚度。此外,它还具有内置诊断资产,可帮助诊断和监控其性能,从而改进流程并减少因设备故障或流程干扰而导致的停机时间。为了最大限度的安全，CANON/ANELVA I-1012受到两个超压系统的保护，这两个系统在发生任何危险情况时关闭主腔室真空并中断高压电源。此外，该模型还标配了全面的安全警报，以及在整个过程周期中自动保持腔室压力的控制。该设备还具有全面的远程监控功能,向用户提供多达25个流程数据通道,以便于故障排除和调整。总体而言，佳能I-1012是提供高度可控、均匀、精确的薄膜沉积的理想工业工具。该系统还提供可靠的性能,同时考虑到用户的安全和便利。