二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293830304 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是为薄膜沉积而设计的高性能溅射设备。利用平行溅射技术提高了沉积速度和均匀性，适用于钝化、阻挡层、接触层和电极材料等多种应用。该系统配备了可用于单源和双源溅射的高功率射频（RF）发生器。其真空室设计方便操作维护，内置机械泵控制腔室压力。内置涡轮泵保证了低背景压力，并且不需要单独的吸气泵。该装置的浮动不锈钢阳极板（靶架）确保均匀沉积，如果需要，可以使用高容量离子枪进行额外的蚀刻和清洗，以及反向偏置溅射。该机器包括一个气体进料工具，用于沉积反应性气体，如氧气、氮气和氙气。此外，该资产无需用水即可控制室温至300摄氏度之间的温度。佳能I-1060SVII PLUS-1提供0.1至5 kW的溅射功率范围，可选频率为13.56 MHz。它配备了强大的石英灯，可以用来退火沉积的薄膜。此外，该模型还配备了远程监控设备，用户可以从任何位置监控和调整沉积参数。总体而言,ANELVA I-1060 SVII PLUS-1是需要以经济实惠的价格进行可靠、高性能溅射的应用程序的理想选择。它结合了先进的特性和多用途的能力，非常适合广泛的沉积过程。