二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9120224 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是一种最先进的多功能溅射设备,设计用于进行物理和化学溅射过程。这种高性能溅射系统能够产生各种材料应用，如薄膜、多层和复合材料。它非常适合用于需要精确溅射的行业，如MEMS（微机电系统）应用、半导体、传感器和光电子。该机组使用中频电源（MFPV），其设计目的是在减小机器尺寸的同时保持尽可能高的微波功率输出。这样即使在高溅射速率下也能实现溅射过程的均匀性。CANON I-1060SVII PLUS-1由顶装主工具（包括源、开关和腔室）和符合人体工程学设计的操作员控制台组成。它还具有底部安装的磁控溅射头和源，以及匹配的独立溅射源和目标组件。该资产还具有突破性的测量和控制功能,如自动电源反馈、数字控制、高速过程控制和数据记录模型。这确保了对溅射沉积速率的精确控制，以及记录信息以进行工艺优化和改进工艺能力的能力。根据许多应用程序的要求,溅射头和溅射源可最大程度地提高均匀性和可重复性。它能够产生极小的溅射颗粒尺寸，使其能够产生均匀的纳米结构薄膜，这对于先进的电子设备、传感器和MEMS产品来说是一个极大的优势。该设备具有出色的灵活性,能够满足各种溅射过程要求,并能够定制每个应用程序。这包括自动交换目标、双源溅射、关闭和恢复启动操作以及喷嘴清洗操作,以确保系统的最高生产率和可靠性。ANELVA I-1060 SVII PLUS-1具有为表面处理提供最高吞吐量、精度和可靠性所需的所有功能。