二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是一种单室、高真空溅射设备，设计用于将薄膜沉积到基板上，用于先进的微电子和光学应用。该机组的底压为2x10-6 Torr，通过主动级涡轮分子泵实现。I-1060提供的最大溅射功率为5kW，可调节功率范围为0-10%，适合多种应用。安装在机组后部的隔离管为磁控管溅射提供额外的动力。此外，I-1060采用高真空快门将底物装卸室与薄膜生长室分离。该I-1060可容纳直径达60厘米的各种目标，总目标面积为170 cm2。它具有0.1-30 cm/min的可变溅射速度，可以使用微处理器系统设置。I-1060中的台式电极为电子传递到目标材料的电场提供了一个地面，从而形成等离子体。台式电极（TME）增加了沉积层的均匀性，使纹理膜的形成成为可能。该单元还设有4级粗加工单元，以及维护真空阀、吹扫机、三微米滤波器、两个挡板和一条抽水线。此外，带有温度补偿工具的数字控制器可以方便操作，并允许用户对溅射参数进行任何必要的调整。该I-1060提供精确的薄膜厚度控制,薄膜厚度差异小于10%。模型中还包括一个薄膜检验资产，以确保质量控制。此外，该I-1060在溅射过程中利用了多种气体，如氙气、氮气、O2、H2和N2。除此之外,先进的远程诊断和安全机制提高了设备的性能,并保护设备免受任何潜在的损坏。