二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9273917 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是一种能够将薄膜沉积到基板上的溅射设备。它通常用于沉积硬质、导电膜和介电膜，用于广泛的应用。佳能I-1060SVII PLUS-1吞吐量高,效率高.它具有高精度、高精度和优异的机械性能,材料种类繁多,能够在薄膜厚度控制严密的情况下应用非常薄的涂层。ANELVA I-1060 SVII PLUS-1有一个主磁控管溅射源，在标准测试环境下最大溅射速率高达100 nm/min。其垂直工作区提供了高达32 "x 18"的大面积溅射沉积。溅射源由一个6KW电源供电，提供均匀的目标离子能量。溅射源装有直径15英寸的阴极靶子，最大溅射速率为132 nm/min。它还有一个可编程的旋转基板支架，容量为135 °C。ANELVA I-1060SVII PLUS-1有一个已安装的涡轮分子和粗加工泵真空泵，以及一个数字真空计，能够使腔室快速疏散到低压。它有一个自动压力控制（APC）系统，可以降低基板加热时间，增加厚度范围广泛的基板的均匀性。此外，该装置还设有氦气泄漏检查机，可直接测量溅射源的小泄漏。此外，该工具还设计了X和Y光栅运动资产。这会影响基板的运动，导致整个基板上均匀的溅射沉积，并随着附着力的增强而降低表面粗糙度。此外，一个有源等离子体监测器有助于优化溅射速率与正确程度的电离气体光滑均匀涂层。CANON/ANELVA I-1060SVII PLUS-1是一种全计算机控制模型，可与用户友好的软件配合使用，便于操作。它具有用于快速设置的数据存储设置,并提供过程控制概述和数据日志记录。该设备常用于塑料硬质涂层、半导体沉积、薄膜太阳能电池薄膜沉积、TFT和液晶显示屏、LED照明等多种应用。