二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII #293821353 待售
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CANON/ANELVA I-1060 SVII是用于制造电子元件的先进溅射设备。该系统具有高真空溅射室和装在重型真空室中的溅射枪的特点。溅射枪配有可调节高度的支架和两个溅射头,以确保基板的涂层均匀。该单元可以在其手动旋转平台上容纳直径达340mm的基板。CANON I-1060 SVII由强健的触摸屏控制器控制,并利用多种溅射技术。与各种来源兼容,包括直流、脉冲直流、高频交流溅射。该机沉积速率高,均匀性好,颗粒物排放低,目标材料兼容性广泛。它还具有冷热最小值温度控制器,可以在操作过程中进行精确的温度管理。ANELVA I-1060 SVII可以在串联和批处理式溅射过程中操作。串联过程涉及用单个溅射枪连续涂覆基板,而批处理过程则涉及在单独的批次中溅射多个基板。例如,涉及1000个基板的批处理过程可以在大约10分钟内完成。该工具还可以与紫外线固化、PVD/CVD硬涂层、负载锁等其他设备配合使用。I-1060 SVII由优质耐腐蚀不锈钢制成,并配有安全护罩和紧急关闭装置,以确保用户安全。资产是可维护的,过滤器易于访问。总体而言,CANON/ANELVA I-1060 SVII是一种可靠、高性能的溅射模型,它为制造各种具有精确和均匀涂层的电子元件提供了经济高效的解决方桉。其种类繁多的溅射技术及其批量和串联处理能力使其成为寻求可靠、经济高效溅射设备的制造商的理想选择。
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