二手 CANON / ANELVA I-1060 #9144792 待售

CANON/ANELVA I-1060是一种高精度、工业级的溅射设备,能够生产高纯度、均匀的薄膜。由CANON开发，该系统广泛应用于各个行业的许多应用，如太阳能电池板、平板显示器、触摸板、光学存储介质以及许多其他需要高度指定沉积层的项目。CANON I-1060是一个垂直磁控管溅射单元，利用大功率磁体将等离子体离子推进到适当形状、电隔离的基板上。这种方法使使用者能对沉积速率、沉积材料的均匀性和其他重要参数有高度的控制。该机器还具有生产几乎任何厚度的薄膜的能力，非常适合需要非常薄的层的应用。ANELVA I-1060提供了广泛的真空级别,根据选定的工艺,达到1到10-3 mbar的压力。这样可以使工具适应各种基材和应用需求。I-1060还提供室内清洁功能，以及各种晶圆清除系统，允许无人操作。此外，该资产还具有气流自动控制模型和精细运动定位设备，可对整个沉积过程进行精确控制。CANON/ANELVA I-1060的其他特性包括使用RF、DC和脉冲-DC溅射，使得生产氧化膜、导电层和合金膜成为可能。该系统具有超高真空应用的内部进给通路，以及多步自动腔室清洗单元。此外，CANON I-1060支持各种涂层源，包括平面阴极、溅射枪、可旋转阴极和三波磁控管，有助于实现高沉积速率和高度指定的薄膜涂层。总体而言，ANELVA I-1060是一种特殊的溅射机，它提供全面的沉积能力，同时遵守最高的质量标准。它具有灵活性、可靠性和精确度,非常适合需要高性能的各种工业应用。