二手 CANON / ANELVA I-1060 #9148536 待售

CANON/ANELVA I-1060是一种高精度溅射设备，主要用于制造半导体及相关产品的薄膜沉积。该系统设计用于在多种基板上提供均匀且可复制的薄膜沉积，包括半导体晶片、玻璃和其他材料。该单元由一个真空基座室组成，该室容纳基板支架和溅射源和目标。真空机连接到一条气体管线，提供一种引入腔室的反应性气体。为了达到对晶片覆盖的良好目标，佳能I-1060设计用于磁溅射。该工具配备了可变电源，为磁控管溅射源提供受控电源。该资产还采用步进电动机驱动的XY级，以确保整个晶片均匀涂层样品支架的精确运动。此外，ANELVA I-1060还配备了高位置装置，测量基板上材料的个别电离，确保薄膜厚度均匀。为了测量薄膜的特性，模型还配备了光谱仪和/或椭圆仪，以分析晶圆不同点的材料特性。此外，设备设计方便维护，并配有多种安全特性。其中包括有助于确保操作员和环境安全的功能。该系统还包括一个用于识别和排除潜在问题的自动故障诊断单元。总体而言，I-1060是一台设计精良的溅射机，旨在为半导体工业中使用的各种基板提供一致、均匀的薄膜沉积。该工具包括多种功能，以确保整个晶片的均匀涂层以及分析薄膜的特性。它还包括多种安全和维护功能,以确保安全运行和最佳性能。