二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048 待售

CANON I-1060 SV2+1是一种自动溅射设备，用于在各种基材材料上涂覆薄膜。这个系统配备了一个五口袋、高容量的晶片装载室，可以容纳多达10英寸的晶片。该单元使用一个可以独立控制的多面阴极，并提供更大的沉积均匀性跨基板。本机有磁性和电子束溅射两个阴极。阴极源包括三个用于进行电子束比溅射，另外两个用于定期溅射。腔壁由不锈钢制成，为增加涂层均匀性提供了低反应性稀有气体（如氙气）与基板的均匀分布。该工具通过使用多个旋转目标和独立的阴极，在整个基板上实现涂层的高度均匀性，在基板表面上提供均匀的薄膜。该资产还提供远程沉积控制,以实现整个基板的均匀性。通过使用化学计量靶子可以有效地控制过程，对每个阴极的功率设置可以单独调整以控制沉积速率。ANELVA I-1060 SV2+1能在污染物最小、工艺均匀性较高的情况下实现高沉积速率。该模型还具有温度控制加热元件和温度探针，以确保膜沉积均匀。Cassette Shuttle Transfer设备还设计用于通过在真空下进行基板交换来减少腔底沉积，以提高涂层的均匀性。最后，设计了CANON/ANELVA I-1060 SV2+1溅射系统，将薄膜涂覆到各种基材上，均匀度更高。它具有两个独立控制的阴极和旋转目标，以及远程沉积控制和温度控制元件，以确保涂层的均匀沉积。该装置具有较高的沉积速率，污染物极少，同时达到质量、均匀的涂层。