二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921 待售

CANON I-1060 SV2+1是为薄膜沉积应用而设计的多功能溅射设备。用于将多种金属、合金、氧化物、氮化物等材料沉积在基板上，制成具有所需性能的薄膜。该系统由真空室、强大的磁控管溅射源、均匀沉积的旋转基板支架、气体输送装置和一个广泛的过程控制器组成，以监测和控制机器。真空室采用不锈钢结构，采用圆柱形设计，集成了淋浴头溅射目标插件。它具有一个内部视口来监视溅射腔，可变压力范围为10-3至10-8 torr，底压为10-9 torr。磁控管溅射源由两盏最大输出功率20kw的大功率卤素灯组成。它具有很高的电离速率，并提供了广泛的材料溅射。旋转基板支架可以编程为以0.2至10 RPM的可调速度旋转，从而在整个基板上产生均匀的沉积。该工具还包括进一步均匀性的振荡函数。气体输送资产用于将气体引入腔室以获得所需的加工参数。该模型的气体流量为0-100scm，总气压容量为10-3至10-8 torr。ANELVA I-1060 SV2+1设备具有高效的过程控制器,可在操作过程中监视参数和更改设置。这包括一个可编程腔室压力指示器，温度指示器和电源电压表。该系统还具有超温度和超压报警功能,并带有电气互锁保护开关。总体而言，CANON/ANELVA I-1060 SV2+1是一种先进的溅射装置，旨在提供可靠的性能和有效的沉积。它利用创新技术为用户提供最新的机器。多种多样的特性和元件使其成为薄膜沉积工业研究和生产应用的理想工具。