二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9197712 待售

CANON I-1060 SV2+1是为各种研究和工业应用而设计的先进溅射设备。该系统采用先进的直流磁控管溅射技术，设计用于高均匀度的高速率薄膜沉积。它能够以高速速率将物料从几个目标蒸发和沉积到基板上。该单元提供了广泛的基板尺寸和形状，具有从平坦基板到外部圆柱形目标的几何形状，并且可以同时处理多达两个不同的目标。I-1060 SV2+1机的设计提供了高精度和均匀性以及优质的薄膜结构。它由四轴自动操纵机器人工具和多磁控管直流溅射源组成。通过使用可变场旋转磁控管溅射资产实现最优均匀性。这补充了一个可选的斜影型多目标平面磁控管溅射源。该模型具有用户友好的触摸动作控制（TAC）单元。这提供了简单的操作，并允许用户定制自己的涂层规格。它还为数据监测和数据分析提供两个显示器显示。此外，I-1060 SV2+1设备能够运行更复杂的散装工艺，如反应性溅射、HiPIMS和多元件工艺。在安全特性方面，系统配备惰性大气室和高真空容器屏蔽，以减少操作员和环境对溅射气体的暴露。它还具有在超出范围条件时停止操作的联锁。总之，ANELVA I-1060 SV2+1是一种先进的直流磁控管溅射装置，设计用于提供高均匀度的高速率薄膜沉积。它具有自动化的机器人处理机和方便用户的TAC单元，以便于操作。此外，该工具还选择了一些安全功能，以减少操作员和环境对溅射气体的暴露。