二手 CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II #9269327 待售

CANON/ANELVA ILC-1012 Mark II是为各种薄膜涂层应用而设计的先进溅射设备。该系统包括一个溅射阴极、一个等离子发电电源、一个气体电源和一个旋转台。该装置的核心是一个感应耦合等离子体线圈，用于产生高密度等离子体，这对于在溅射过程中进行有效的离子轰击至关重要。ICP线圈产生各种稀有气体的等离子体，例如功率密度可达5.8 kW/cm2。这允许了广泛的溅射应用，特别是对于高温涂层，如金和​​的。该机器的设计利用了磁控管溅射的物理现象，即被放置在溅射阴极后面的磁体使从目标材料释放出来的粒子在基板处保持较低的位置，从而提高了涂层效率。它有一个直径13.1厘米的长方形目标，可容纳10公斤。目标能够旋转360度，均匀覆盖基板，并涂上金或其他材料的薄膜，产生溅射颗粒。该工具还配备了供气装置，最多可容纳5瓶各种稀有气体，用于产生高密度等离子体。这些气体的压力和流量可以从主控制面板精确调节，以优化溅射过程。该资产还设有一个高精度的旋转台，可以对基板进行精确和均匀的涂层。该表每分钟可旋转0转至6000转，最小步长为5 rpm，允许对涂层厚度进行精确剪裁。CANON ILC-1012 Mark II是一种功能强大、高效的溅射模型,能够生产高质量的薄膜涂层,适用于各种应用,是涂层和沉积实验室的理想选择。