二手 CANON / ANELVA ILC 1012 MK II #9068933 待售

CANON / ANELVA ILC 1012 MK II
ID: 9068933
晶圆大小: 4"-5"
Sputtering systems, 4"-5".
CANON/ANELVA ILC 1012 MK II是设计用于真空涂层的特种溅射设备。该系统装有冷锋枪,由固定的多磁控管阴极装置以及可移动的多磁控管阳极组成。这种组合允许比传统电子束系统有几个优点,包括非常大的喉咙尺寸,允许大元件的高效溅射。冷边枪也允许使用比其他电子束系统更高的压力。CANON ILC 1012 MK II提供了几种溅射室配置,每种配置都是为满足客户应用程序的特定要求而量身定制的。标准配置由一个25厘米长的工作室组成,能够同时处理多达四种目标材料。这个腔室有一个5厘米的检修口,并配有0.6毫巴的底压和0.2毫巴的涡轮泵。还提供一个可选的8厘米工艺室,它具有0.45毫巴的底压和0.1毫巴的涡轮泵。该装置设计有一个控制装置,管理多达24个电源,能够精确控制机器参数。集中控制数据库允许存储多个配方,以便在应用程序之间快速轻松地进行更改。此外,集成的故障检测软件会在操作过程中连续监视该工具,并在出现任何不规则性时提高标志以提醒用户。ANELVA ILC 1012 MK II具有多种特性,使操作和维护更加容易。其中包括一个节能模式,持续监控资产的能耗,以及一个人性化的触摸屏界面,用于设置和操作模型。此外,该设备还可以处理高吞吐量,典型的周期时间仅为2分钟。高质量材料的坚固构造和使用确保了系统的长寿命。这与整个设备中使用的工业级部件相结合,产生了极其可靠和可重复的过程。总体而言,ILC 1012 MK II是一种可靠且用途广泛的溅射机,能够满足各种工业和研究应用的需求。CANON/ANELVA ILC 1012 MK II具有大喉咙尺寸、高压力、易于操作和维护以及节能的特点,是任何涉及真空涂层的行业的理想选择。
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