二手 CANON / ANELVA ILC-1012 #9215758 待售

ID: 9215758
晶圆大小: 5"
Al Sputtering system, 5".
CANON/ANELVA ILC-1012 Sputtering Equipment(以下简称"系统")是用于精密工程、半导体、电子等领域的先进涂层单元。其主要目的是通过将材料溅射到各种基材上来制造材料薄膜,在这一过程中,由于离子轰击和高温的结合,材料作为微观颗粒从源颗粒中喷射出来。该机器由一个IH真空室、一个电源和一个瞄准头组成。真空室允许用户将所需的材料引入真空压力为1000-30000 Pa的工作室中,它被设计为与Forward-和Reactive-Sputtering过程兼容,允许用户在基板上溅射几乎任何选择的材料。电源允许精确控制材料的工作功能、溅射角和溅射速率,而瞄准头则提供对溅射粒子方向的精细控制。整个工具由工业级控制器支持,具有简化的用户界面,允许快速、方便地操作和修改过程参数。这进一步有助于资产保存和召回多达16种用户定义的配方,用于可重复、高质量的处理。该模型的高级工程提供了细层的超细均匀溅射,其宽度不超过0.1 μ m,这对于需要在层厚上具有紧密公差的高精度电子应用非常重要。关于这一点,设备允许控制符合最先进的电子工业要求的溅射参数。过程控制还有一些辅助功能,例如端点检测器。使用此系统,用户可以设置溅射目标厚度,一旦达到所需厚度,该过程将自动停止。此外,该装置还包括一个真空传感器,允许操作员在溅射时监测腔室压力。机器还有一个紧急停止工具,它将在发生紧急情况或异常操作时关闭资产。综上所述,佳能ILC-1012溅射模型是在电子元件或基板上精确涂覆材料的理想选择。它具有广泛的功能,例如过程控制选项、用户友好的界面和高级工程,确保它在未来许多年内仍然是一个值得信赖和可靠的工具。
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