二手 CANON / ANELVA ILC 1013 #9068935 待售

CANON/ANELVA ILC 1013是一种特殊类型的溅射设备，用于许多不同的应用。CANON ILC 1013是一个三室系统，有三个主要组成部分：溅射（源）室、冷冻泵室和沉积室。该单元采用离子激光元件对准技术（又称ILC），在大型基板上操作小尺寸特征时提供极致精度。在溅射室中，金属、陶瓷、电介质等不同的目标材料安装在阴极室中。然后在低压（1 mtorr）时向腔室注入Ar气体，此时适当的目标介质受到来自直流磁控管的离子通量的影响。通过改变电压和电流水平，可以控制溅射材料的侵蚀速率和组成。冷冻泵利用液氮支持~ 10-8 torr的真空。这是通过结合氮气的热导率、真空壁的热导率和冷冻泵产生的磁场来完成的。冷冻泵提供极为均匀清洁的沉积环境。沉积室包含要沉积材料的基板。这是通过一个连续的传递机制来完成的，该机制以预先确定到薄膜厚度的速度将基板从一个位置移动到另一个位置。使用溅射速率控制器来改变沉积速率。总之，ANELVA ILC 1013是一款先进的溅射机，融合了ILC对准等先进技术，为小特征提供了完美的对准。其三室结构包含溅射室和冷冻泵室，以确保均匀和清洁的沉积。基板特地定位在沉积室中，以预定的速度经历连续的转移机制。得益于这一工具，金属、陶瓷、电介质的沉积等各种应用都可以完成。