二手 CANON / ANELVA ILC-1013 #9269410 待售

佳能/ANELVA ILC-1013是佳能公司制造的直流磁控管溅射设备。它是为工业涂层应用而设计的高性能溅射系统。CANON ILC-1013使用射频交流电源创建高密度等离子体电弧，然后用于溅射多种材料。高密度等离子体电弧使电离效率比传统的直流溅射系统高得多，从而产生较高的沉积速率。ANELVA ILC-1013具有严格控制的晶圆传输单元,可实现最大的基板一致性。机器高效的设计提高了最终涂层的整体均匀性和地形。此外，ILC-1013拥有精确定位基板，允许无与伦比的溅射均匀性和严格控制基板温度。CANON/ANELVA ILC-1013有各种控制选项，包括温度控制、气流控制和多目标操作。CANON ILC-1013还配备了多种安全功能，包括低压监控工具、防静电保护和基板夹保护。它的设计采用了重型不锈钢外壳和内部金属护罩，提供了最终的保护和免受外部污染源的保护。操作时，ANELVA ILC-1013必须保持在可控的气氛中。资产利用冷却和疏散系统来调节温度和保持清洁环境。所有组件均通过集中式真空控制单元（VCU）连接,以确保不间断的真空和过程稳定性。ILC-1013是在涂层工艺中要求高质量和一致性的应用的理想选择。它能够沉积多种材料，可用于多种工业应用，包括医疗、汽车和半导体制造。模型的高级特性使其成为所有类型沉积的宝贵工具。