二手 CANON / ANELVA ILC-1013 #9275352 待售
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CANON/ANELVA ILC-1013溅射设备是用于薄膜溅射沉积的最先进的工具。它提供了一个可靠和准确的方法来创建厚度和均匀性一致的薄膜。CANON ILC-1013被用于多种应用,包括光电器件、平板显示器、太阳能电池、半导体芯片、传感器、MEMS器件以及汽车涂料和涂层。ANELVA ILC-1013是一种高度复杂的溅射沉积系统,具有先进的二极管激光互锁阴极电弧(ILC)源。这种光源经过专门设计,可以生产出均匀、连续和可重复的薄膜涂层。该单元包括一个调制数字电弧电流供应,能够精确控制电弧传递。ILC-1013还具有一个基于PLC的过程控制面板、可选的带有的散射目标以及一个先进的风冷真空机。CANON/ANELVA ILC-1013与ILC源一起,还包括其他各种先进组件,以确保薄膜沉积精确且可重复。这包括射频电源、高精度压力表、风冷目标支架、泄漏阀和ESD安全室。所有组件的设计都是为了共同创造一个稳定和有效的沉积工具。CANON ILC-1013溅射资产还配备了多种功能,使其更易于操作和监控。这包括一个高精度的质量流控制器,它可以在溅射过程中测量和控制等离子体的温度。它还具有一个内置的软件套件,它提供了一个图形用户界面来控制模型,除了进程的实时监视器。该软件套件包括一系列配方和所见即所得,允许用户根据需要快速调整参数。总体而言,ANELVA ILC-1013溅射设备是薄膜沉积应用的理想工具。凭借其先进的ILC源、先进的组件和用户友好的软件,该系统可以为创建均匀的薄膜层提供高效可靠的选择。此外,其广泛的安全特性使其成为任何实验室安全可靠的溅射沉积装置。
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