二手 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134664 待售

CANON ANELVA ILC-1013MK2是CANON ANELVA Corporation制造的溅射设备，利用物理气相沉积（PVD）将薄膜沉积在基板上。这种溅射系统是一种露天设计，允许高溅射产量在很大的效率水平与最小的充电沉积室。ILC-1013MK2提供具有世界上第一个10GHz频率范围的单一射频电源,加上先进的离子束技术,可以提高溅射速率、提高膜厚度均匀性、提高膜密度、减少针孔和降低薄膜生长成本。该单元的简单布局也使得多个过程能够快速集成，从N2处理到离子纯度控制或压力控制。CANON ANELVA ILC-1013MK2配备了直流磁控管源，可提高溅射产量和大面积均匀性。该机还具有过程控制功能，可实现简单准确的沉积速率和薄膜厚度控制。数字接口允许设置各种参数，以确保高精度的沉积过程。液压控制工具的使用进一步确保了在不损坏基板的情况下可以获得均匀均匀的薄膜。使用先进的镜像修复技术ILC-1013MK2进一步有助于抑制材料堆积，从而阻碍样品的有效溅射。这一功能还能够在难以触及的零件上沉积高质量、无损伤的薄膜。CANON ANELVA ILC-1013MK2的设计旨在提供PVD领域的卓越性能。低压操作，工具设置快捷，工艺周期时间快，薄膜沉积控制精准，效果优越。因此,ILC-1013MK2已成为PVD行业中许多应用程序日益流行的选择。许多行业依靠佳能ANELVA ILC-1013MK2为其产品取得的优异成果。凭借其卓越的性能、可靠性和易用性,ILC-1013MK2一定会在未来许多年内保持行业领先地位。