二手 CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490 待售

CANON/ANELVA ILC-1015是一种装有质量流控制器、真空系统和电源的溅射设备。该装置专为薄膜沉积、微器件制造、基板清洗等溅射应用而设计。本机由腔室和电源平台两个主要部件组成.腔室由真空室、沉积源和基板级组成。真空室采用不锈钢制成，具有钟形罐设计，便于接触基板。沉淀源由一个单一的目标源组成，最多有四个独立的溅射源安装在腔室门上。基板级可调，可容纳200 毫米x200毫米基板。CANON ILC-1015的电源平台设计为对溅射源提供灵活准确的电源控制，允许精确的薄膜沉积。该平台由三类电源组成：用于控制直流电压的直流（DC）电源、用于控制溅射源PWM的脉宽调制（PWM）电源和射频电源。溅射功率可以从0-5kW调节，使厚层沉积，形成均匀的球状原子簇。该工具可以使用手动或自动模式操作。在手动模式下，用户可以控制压力、温度、射频功率等腔室参数。在自动模式下,资产通过个人计算机（PC）进行编程和操作。用户还可以使用各种传感器来测量沉积速率和基板温度。ANELVA ILC-1015是一种先进的溅射模型,旨在实现精确的薄膜沉积.适用于微器件制造、溅射蚀刻等溅射应用。凭借其先进的电源平台和用户友好的操作，ILC-1015可以帮助研究人员快速高效地实现他们所期望的结果。