二手 CANON / ANELVA ILC 1015i #9101584 待售

CANON/ANELVA ILC 1015i是一种溅射设备，用于在真空中将金属、陶瓷和聚合物溅射到基板上。该系统能够在大面积上沉积均匀的薄膜，具有高度的精确度和控制力。1015i具有获得专利的双频射频电源模块，使设备能够同时在4 MHz和13.56 MHz运行。这使得机器适合与多种材料配合使用，从不溶性金属到聚合物，并允许对沉积的薄膜厚度进行极其精确的控制。1015i还具有自动放电控制功能，有助于消除沉积过程中的不一致。1015i的溅射室装有电子束枪，用于在溅射过程中蒸发材料的电离粒子。这保证了均匀的溅射，并达到比机械磨损更高的效率。该室还有两个气体注入模块，用于引入大型气体溷合物，以控制沉积速率、回收率和颗粒沉积特性。溅射工具还具有高温卡盘，可用于加热最高1000 °C的基板。这对于由陶瓷和聚合物等材料制成的基材很有用，它们可能需要高温才能确保膜沉积均匀。1015i还拥有先进的控制资产，允许用户设置功率输出水平、沉积速度和基板温度等操作参数。这允许用户根据自己的特定要求定制模型。1015i还有一个计算机可编程界面，允许用户远程控制设备。该系统的设计考虑到安全和可靠性，并配备了一系列安全开关和传感器，以保护设备和用户。它还设有一个排气机，以提取烟雾和维持一个安全的工作环境。总体而言,CANON ILC 1015i是一种先进的溅射工具,具有多种功能,可用于各种材料和基板。其高精度和控制，以及其安全特性的范围，使其成为工业溅射应用的理想选择。