二手 CANON / ANELVA ILC 1015i #9105641 待售

CANON / ANELVA ILC 1015i
ID: 9105641
晶圆大小: 6"
Sputtering system, 6" Spare parts included.
CANON/ANELVA ILC 1015i是一种溅射设备,用于在各种基板上形成厚度均匀的薄膜。该系统由电源、离子源和等离子体源组成。电源是机组的心脏,负责控制溅射电流和电压。电压决定离子源与目标材料的距离,而电流决定离子轰炸率。电源还提供有关溅射电流水平的反馈,并具有监视和安全功能以防止过载或电弧。离子源用于提供离子,然后将离子聚焦在目标材料上,从而提供目标材料原子蒸发所必需的热能。离子源通常是射频(RF)、直流电(DC)或磁控管溅射器。等离子体源用于在溅射室中创建等离子体环境。它通过产生电子和离子的高密度等离子体火炬来实现这一点,大量用于溅射。通过将目标材料和溅射气体注入辉光放电产生等离子体,从而导致阳极和阴极之间的火花间隙。CANON ILC 1015i经认证符合工业标准,设计可执行2.5至12.7毫米厚的基板,总腔室容积为27升。它支持蒸发、射频和直流溅射、离子束轰击以及其他标准溅射过程。ANELVA ILC 1015i是一款功能强大的机器,具有工艺锻造能力、更高级别的计算机控制、分离沉积和烘烤周期以及多种目标材料等特点。多层溅射功能使它能够创建详细的图样和复杂的图层,并以均匀的厚度覆盖各种尺寸的对象。还可用于制造用于医疗和食品加工的硬质涂层、光学滤镜和光学工具的保护层,以及装饰涂层。此外,该工具还具有几个安全功能,如操作员界面,允许用户设置可靠的操作参数以及报警和紧急关闭。这样可以确保资产的安全使用。总之,ILC 1015i溅射模型是一种先进的设备,能够制造出厚度均匀的薄膜。它旨在提供可靠、安全的性能以及多层溅射功能。其先进的特点和安全机制使其成为溅射工艺的绝佳选择。
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