二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #293655450 待售

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 293655450
Sputtering system Metal: AlSi, Ti, TiN.
CANON/ANELVA ILC 1051是一种为提供高品质单膜沉积能力而设计的溅射设备。该系统与广泛的溅射目标配合使用,使其能够为各种应用生产各种不同种类的涂料。溅射单元由基础单元、真空室、控制器、目标支架和排气机组成。基本单元包含一个自动装卸室和调节工具内真空的必要设备,包括一个设定点控制器和可编程逻辑控制器。真空由电离计和压力控制器监测。通过差压调节器将惰性气体引入资产,以降低压力。基座单元还包含电源和高频发电机。该模型的真空室由不锈钢制成,带有阳极氧化铝涂层,用于防腐。设计为薄膜沉积提供温度稳定的环境。真空室设有扩散泵、涡轮分子泵、通用真空泵。工艺室还配备了不锈钢挡板,以防止工艺室外的污染。目标支架安装在腔室内,设计用于将溅射目标牢固地固定到位。目标持有者被设计为接受任何尺寸的溅射目标,包括那些由不同的材料和形状不同。目标持有者的设计也允许目标在腔内容易定位。该设备由一个计算机控制模块控制,该模块监测系统参数,以确保最佳薄膜沉积。此模块还允许用户调整溅射压力、时间和功率等工艺参数。该装置还设有排气机,可清除溅射过程中产生的任何多余颗粒和气体。CANON ILC 1051是一种高效的工具,可以提供高质量的单膜沉积结果。此资产在目标材料和形状方面用途广泛,包括提供最佳溅射环境的功能。这些功能还可以更轻松地管理流程参数并确保最佳操作。
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