二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9144936 待售

CANON/ANELVA ILC 1051溅射设备是一种坚固可靠的设备,设计用于将一系列薄膜层和材料沉积到一系列基板上。它具有非常精确和一致地将材料薄层溅射到平面和曲面上的功能。该系统包括两个主要组成部分：一个高真空室和一个腔室压力控制单元。高真空室由不锈钢製成，并设有涡轮分子泵以维持足够低的基压，以将气体分子从腔室中撤离。这个过程被称为脱气。腔室还配有水套，使腔室外壁保持恒温，提高抽水性能。腔室压力控制机是离子源和电源的组合。离子源产生正负离子，与室内的原子和分子碰撞，激发原子并产生溅射。电源接着控制施加在电子枪和气源上的电压，从而达到所需的溅射速率。CANON ILC 1051可用于溅射广泛的材料和薄膜层。这些包括金属、合金、氧化物和氮化物。它还具有溅射到一系列基板上的能力，如硅、玻璃和塑料。除溅射外，ANELVA ILC-1051还可用于蚀刻、表面清洁等工艺。CANON/ANELVA ILC-1051配备了一个控制工具，可以在手动或自动模式下操作。在手动模式下，操作员可以手动调整压力、温度、电压等参数，以达到所需参数。在自动模式下，控制资产将独立维护所需参数。该型号还配备了一系列安全功能，如自动关闭机构、紧急出口和紧急关闭开关。该设备还设计为可上锁,以提高安全性。总体而言，ILC-1051溅射系统是一种可靠而坚固的装置，可用于将一系列薄膜层和材料沉积到一系列基板上。它为操作员提供了手动和自动操作模式，并配备了一系列安全功能，以确保最佳操作。