二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9269411 待售

CANON/ANELVA ILC 1051是一种溅射设备，设计用于提供各种材料在各种基材上的高质量、精确沉积。该系统提供了广泛的溅射技术，如直流磁控管溅射、射频二极管溅射、直流电离子镀等，使高精度薄膜沉积具有优越的性能和性能。该单元由一个紧凑但功能强大的直流电源、一个最多三把溅射炮的阵列以及一个可调压力范围在1 x 10⁻¹³ Torr和大气压之间的真空室组成。除了真空室之外，机器的主要部件都集成在一个平台上，这样可以有很小的空间，同时提供一个坚固的环境，能够承受溅射过程中所涉及的高温和压力。直流电源能够在电流模式下为每个溅射枪提供高达0.5kW个电源,或者在电压模式下为每个溅射枪提供高达500W个电源,从而实现更高的精度和更高的沉积速率。溅射枪本身是一种创新的设计，利用电磁线圈产生的内部磁场来优化等离子体聚焦和更高的沉积均匀性。内部线圈还可以用额外的射频频率供电，以提高反应性材料的沉积速率。真空室内部装有传感器，用于观察压力、温度和材料组成。最多可安装三把溅射枪，同时将多种材料沉积到多种基材上，从而可以制造出层状产品。佳能ILC 1051是当今最先进的溅射系统之一。它结合了先进的技术、广泛的沉积材料和自动化平台，使沉积速度比标准系统快4倍，并具有优越的物理和化学特性。该工具具有高精度和均匀性，能够将多种材料沉积到多种基材上，是生产优质溅射零件和产品的最佳工具。