二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9354461 待售

CANON/ANELVA ILC 1051是一种最先进的溅射设备，用于将先进的薄膜沉积到基板上。它是一个双室、高真空配置的溅射系统，提供了创造保形和高分辨率薄膜的理想平台。它能够溅射金属、绝缘材料、电介质和其他具有高能和低能等离子体源的溅射材料。CANON ILC 1051具有广泛的溅射选项，最多六个阴极能够同时溅射，使其成为大型项目和小型实验室项目的绝佳选择。它还包括可调节功率、频率、电流和气流选项，使其能够在多种薄膜应用中达到理想的效果，包括溅射氧化物、氮化物、碳化物和多种金属。该溅射装置由一个专利Diamind涂层溅射枪（PDSG）提供动力。它是一种超高真空（UHV）溅射机，设计用于生产质量和均匀性最高的模拟就绪薄膜。PDSG有一个旋转的弧形托盘和溅射源，允许它提供非常精确的非常薄的薄膜溅射，同时避免燃烧目标材料。溅射工具还具有先进的基于真空的节气门资产，使其能够提供一致的沉积速率，并便于对厚度不超过三微米的材料进行有针对性的溅射。它还配备了惰性气体输送模式，为敏感薄膜提供了低氧环境。ANELVA ILC-1051溅射设备是生产先进薄膜的理想工具,具有多种功能,可确保获得最高质量的效果。适用于为各种半导体应用，以及汽车、医疗等其他行业创造薄膜，使其成为一种通用的溅射工具。