二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293642935 待售

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293642935
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
Sputtering system, 8" 1998 vintage.
CANON/ANELVA ILC-1060是一种单源溅射设备,设计用于薄膜材料生产中的基板沉积。该系统使用单个溅射阴极将一层薄薄的材料均匀地沉积到基板上。CANON ILC-1060的基室尺寸为200 x 200 x 100 mm,适合小规模沉积应用。ANELVA ILC 1060的溅射室装有电子枪、几何机械手、磁控溅射枪和数位控制板。电子枪用于向要溅射的材料表面提供负电荷,而几何机械手则控制溅射材料的形状和角度。磁控溅射枪确保了基板表面的均匀沉积,而数字控制板则用来设定溅射枪的沉积速率和功率。CANON ILC 1060因其精确一致的沉积特性,非常适合超硬涂层、金刚石状碳(DLC)涂层等薄膜沉积应用。其精确的沉积控制允许均匀且可重复的溅射沉积,即使在基质难以触及的区域也是如此。ILC-1060的最大溅射沉积速率为10 nm/min,甚至适用于要求最苛刻的薄膜生产应用。机组还配备了温控机,在沉积过程进行过程中确保精确稳定的温度控制。还包括水冷工具,有助于调节溅射室的温度,减少因热膨胀造成的误差。ANELVA ILC-1060是适用于薄膜沉积应用的可靠资产。它易于使用,所有组件和设置都清晰可见,其可编程设置确保任何材料上的溅射沉积一致且准确。更重要的是,它的经济性使其成为寻求经济高效溅射模型的公司的理想选择。
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