二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643632 待售

CANON/ANELVA ILC-1060是一种溅射设备，用于将金属薄膜或其他材料沉积在基板上。该系统是一个双室单元，包括一个锁载室、一个高频电源和一个发生磁控管溅射的室。锁载室允许在不暴露于环境的情况下装载和卸载基板，在溅射室中保持高真空。高频电源用于使机器中的磁控管或其他溅射源在目标材料表面发射等离子体被溅射。这种等离子体由电激发的电离粒子组成，这些粒子轰击目标材料，驱散原子和分子，然后以薄膜形式沉积在基板上。发生磁控管溅射的腔室由射频电源、真空泵和循环气体工具组成。最高10,000瓦的射频功率可用于达到3 x 10-3 Pa的最大压力，确保目标材料在基板上均匀溅射。真空泵用于保持腔室内恒定压力，循环气体资产确保基板上均匀电离。CANON ILC-1060模型能够将各种材料溅射到各种基板上，使其适合诸如集成电路制造等一系列应用。设备还包括诊断工具，使用户能够监测沉积过程，允许调整精确的参数以满足特定的应用要求。而且，该系统易于扩展，允许多个溅射源，维护要求低。