二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643635 待售

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293643635
晶圆大小: 8"
PVD Sputtering system, 8".
CANON/ANELVA ILC-1060是一种先进的溅射设备,设计用于将薄膜沉积到基板上。该系统能够进行多层溅射,使非常薄的薄膜具有突出的可重复性。佳能ILC-1060能够同时沉积高纯度和高抗氧化单层和多层薄膜。溅射过程基于离子轰击和离子轰击反应的重复循环。使用的主要方法是磁控管溅射。该装置先进的真空室采用了多种技术来实现超高真空和高质量的沉积。室中采用射频等离子体、集成超高真空技术、离子提取机制,使超细颗粒和均匀层膜沉积。ANELVA ILC 1060还提供一系列气体管理选项,允许用户根据所需的工艺和薄膜轻松设置和控制不同的气体流量。多个气体入口可以在不同的温度和体积下使用;这些都由控制面板轻松调整和监控。ANELVA ILC-1060非常适合用于快速生产和超精度沉积。其精密的控制软件可实现快速、准确和可重现的沉积。此外,该装置采用低噪声、低振动设计,即使在实验室环境中也能进行沉积。该机器的全自动功能有助于最大限度地减少人工和时间需求,使其成为快速、有效和可靠的溅射工具。先进的闭环过程控制、实时监控和反馈系统使维护过程参数和确保一致、高质量的结果成为可能。ILC-1060的可编程自动化配方使得以最少的劳力进行可重复的薄膜沉积变得简单。最后,CANON/ANELVA ILC 1060是为单层和多层薄膜高精度沉积而设计的先进溅射设备。其精密的控制软件和自动化使其成为适合实验室设置的快速可靠的溅射模型。它具有多种气体管理选项、先进的过程控制和实时监控功能,使其成为高度通用的设备,非常适合生产具有重复性和准确性的高质量薄膜。
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