二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643641 待售

CANON/ANELVA ILC-1060是一种高功率的溅射设备,设计用于在各种基材材料上沉积优质薄膜。它结合了多个阴极的使用，使得高通量和高纯度材料的均匀膜的沉积。CANON ILC-1060配备了自动补偿电源，让影片的功率和均匀性得到前所未有的控制。该系统还具有压力控制功能，允许溅射装置精确稳定运行。此外，ANELVA ILC 1060还配备了数字真空控制机，增加了薄膜的均匀性和质量。CANON/ANELVA ILC 1060利用两个强大的嵌入式磁控管，提供高水平的溅射沉积。这两个磁控管均具有短圆柱形磁控管目标设计，通过提供均匀各向同性磁场提高了薄膜沉积的溅射速率。目标是可调的，以容纳大面积和小面积的基板。此外,可以在CANON ILC 1060中添加外部、积极的磁控管目标,以实现PVD （Physical Vapor Deposition）等更高级的工艺。ILC-1060能够处理各种沉积材料，包括金属、化合物、绝缘体和合金。它的两个目标阶段允许将多个材料层溅射到单个基板上。高功率基板加热器允许不方便材料的常规和低温沉积，从而能够对电介质和陶瓷的均匀沉积进行大温度控制。总体而言，ANELVA ILC-1060是一种可靠、通用的溅射工具，针对高质量、均匀的薄膜沉积进行了优化。其多阴极设计、数字真空控制资产、磁控管配置、可调基板设置，使得薄膜沉积精度和精确度更高。该模型非常适合任何精细表面技术，其中薄膜沉积是必不可少的。