二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642 待售

CANON/ANELVA ILC-1060溅射设备是用于薄膜材料生产和沉积的多功能高效溅射系统。它建立在模块化设计上，有多个电源、散热器和溅射目标。该单元在速度和性能上都超过了其他类似系统，允许更快的处理和更高的精度。不锈钢钟形腔室能够容纳多种配置，包括双沉积和平面目标。CANON ILC-1060具有多种双轴运动控制系统,可实现精密沉积控制,以及确保薄膜沉积均匀性的高分辨率光学平坦度控制机器。该工具的集成过程控制系统可监控沉积过程并确保最佳和一致的结果。基板加热资产能够将热量输送至1500C，使其适用于各种薄膜材料的加工。ANELVA ILC 1060配备了四通道气体分配模型，允许最多四个气体引入腔室，允许各种工艺和配置。该设备还具有数字加压气体控制系统，可设置用于低压或高压过程控制，从而实现精确和均匀的沉积。CANON/ANELVA ILC 1060还包括完整的单元诊断功能,允许用户在操作过程中监视和诊断任何潜在的问题或差异。它还具有自动化配方管理功能,使用户能够快速轻松地在各种流程配方之间切换,而无需每次手动设置每个参数。ANELVA ILC-1060是一款可靠、强大、高效的溅射机，使用户能够快速、精确地生产和沉积薄膜材料。它的模块化设计、双轴运动控制和全面的诊断能力使其成为广泛薄膜沉积应用的优越工具。