二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293749178 待售

CANON/ANELVA ILC 1060是一种高性能溅射设备，专为薄膜沉积的多种应用而设计。该系统能够向目标材料（通常是金属或陶瓷）供应由稀有气体（如氙气、k气和氙气）产生的离子流。离子轰击有助于剥离目标材料的原子，并将它们以薄膜的形式沉积在基板上。在CANON ILC 1060的情况下，利用直流（DC）间接线性级联构型对溅射柱施加电压电位，从而产生带电的稀有气体等离子体。ANELVA ILC-1060单元提供广泛的功率、电压和流量设置,以精确控制溅射性能。电源包括弧芯直流电源和直流磁控管溅射磁场。对于高速率沉积和提高的溅射屈服，外部磁场设置可在很宽的动态范围内调节。设备的高频发生器能够对过程进行频率调制，以维持稳定的等离子体状态。ILC 1060机还包括用于薄膜涂层精密沉积的先进沉积工艺控制.它配备了一个多通道温度监控器来控制底物和目标温度，以及一个多区域环境监测工具来检测环境的任何变化，并在必要时触发自动关闭程序以防止污染。ANELVA ILC 1060还采用了精确的目标和基板距离以及倾斜控制装置，确保了材料沉积的精确均匀性，以确保重复性和高质量的结果。其控制台在整个过程周期中准确监控和记录真空参数和工艺参数。综上所述,CANON/ANELVA ILC-1060是一种高度先进的溅射资产,旨在满足那些需要高生产水平的精确、可重复和可靠的薄膜涂层的需求。其先进的功率、电压、流量和沉积过程控制、多区域环境监测模型以及精确的距离和倾斜控制装置都有助于确保每次的高质量沉积。