二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9033668 待售

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 9033668
晶圆大小: 8"
Sputtering system, 8" Currently stored in a warehouse.
CANON/ANELVA ILC 1060是一种高科技溅射设备,设计用于金属、合金和精密薄膜涂层的工业级溅射涂层。该系统将基于离子的物料沉积源(溅射)与低压阴极电弧技术结合在一起,提供了令人难以置信的精确物料层。其可调射频功率和可调磁控管溅射室可控制沉积速率、沉积均匀性和沉积材料厚度。CANON ILC 1060单元还在大面积上快速提供了一致的层,没有传统溅射系统所要求的复杂气体处理。ANELVA ILC-1060的高功率电源具有集成的10千瓦电源,易于操纵电源控制,并允许机器以极高的溅射速率运行。其可调电源还可以方便调整溅射压力及相关溅射参数,精确控制薄膜厚度、均匀性和质量。它的电子束蒸发源允许多种材料在氙气气氛中汽化。蒸发源被设计成可容纳单个或多个目标的crucibles,这使使用者对沉积物料的沉积速率、厚度和均匀性有极精确的控制。佳能ILC-1060还具有两个独立的多室目标,由一个计算机化的目标定位阶段驱动。目标支架是可调的,可以容纳两种不同尺寸的材料。为了保证沉积薄膜的精确均匀性和质量,设计了一个保证目标材料正确放置和平衡的舞台。集成室快门,ILC 1060清洁和基板装载可以完全自动化,提高生产效率。该工具还允许远程网络连接,从而便于管理操作。嵌入式PC控件和网络软件使用户能够随时监视和访问资产中的数据。ILC-1060溅射模型是制造工业级密封剂、耐用涂层、表面保护层和其他专用薄膜产品等应用的理想工具。ANELVA ILC 1060以其强大的光源和精确的控制,是各种寻求生产精确溅射金属和合金层的行业的绝佳选择。
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