二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9142589 待售

CANON/ANELVA ILC 1060是一种高端射频（RF）磁控管溅射设备，用于在各种物体和表面沉积薄保护膜或涂层。它是一个多用途的系统，可以处理多种金属、介电和超导膜。CANON ILC 1060是直流电（DC）或射频溅射装置，溅射功率高达8 kW。电源配备了12千瓦的峰值功率。溅射枪控制由60通道的DC/RF互锁控制单元处理，能够提供均匀的功率分配和溅射层。该机具有气动操作的4 'x 2' x 1'真空室和集成6目标超高真空锁定工具。负载锁定资产允许将高达4 'x 2' x 1'的大型物体快速装入腔室，而不会破坏真空。双门入口允许移除大型物体。ANELVA ILC-1060配备了120 Hz频率控制器，允许金属、介电或超导膜在多种物体上的高效沉积。1000C了ANELVA ILC 1060的最高工作温度。ILC-1060是一个非常通用的溅射模型。这些特殊功能使它能够用于各种应用程序。可用于在半导体、基板、光电微器件、金属、电介质和超导材料上沉积薄膜或保护性涂层。它内置的过程控制功能使其能够对细纹和形状进行精密蚀刻和溅射。它对于创建用于光学元件、等离子体显示器和微光刻等应用的纳米结构膜也非常出色。佳能ILC-1060也非常耐用可靠。CANON最先进的真空技术可确保薄膜始终保持清洁和均匀的沉积，并将污染风险降至最低。此外,坚固耐用的设计保护设备免受环境问题的影响,例如灰尘和振动。ILC 1060是一个令人难以置信的强大和多用途的溅射系统,用于创建薄的保护膜和涂层。CANON/ANELVA ILC-1060体积大、工艺控制功能先进、操作可靠,非常适合各种工业、实验室和生产应用。