二手 CANON / ANELVA ILC 702 #293657154 待售

CANON/ANELVA ILC 702是一种高精度磁控管溅射设备，用于生产高精度和均匀性的薄膜涂层。该系统能够在各种基材上沉积薄膜，包括金属、塑料、玻璃和陶瓷。CANON ILC 702单元能够在从正常大气压到真空的大范围压力下进行溅射沉积。这是使用大功率直流磁控管溅射枪完成的，该枪使用磁增强真空至近真空室，工作压力为10-2至20 mTorr，可以在0°C至800°C的温度下工作。此外还包括高压电源、电子束枪和气体喷射机。ANELVA ILC 702工具装有一个电机驱动单元，用于精确控制溅射炮。该单元能够产生恒定的角速度，确保均匀沉积在基板上。电动旋转底座在两个水平轴上移动溅射枪，使大型目标和曲折表面能够溅射。溅射枪的运动由资产的光学传感器精确监控。ILC 702模型是针对沉积膜的高精度和均匀性而设计的。其溅射沉积速度高达0.3m/min，溅射速率高达1.2nm/s。均匀性通过高功率磁控溅射炮和旋转底座实现。该设备还包括用于控制真空室内气体压力的气体注入系统。这样做是为了确保气体在腔室中的均匀流动，并确保所需的介电材料特性。该单元还包括一个自动沉积室，在该室放置用于溅射过程的基板。这个腔室设计有高精度的墙壁，并配有高效的滤波器。这有助于确保无灰尘和颗粒的环境以及溅射过程的无氧环境。此外，也有不同的壁型，以进一步增加涂层的均匀性。CANON/ANELVA ILC 702工具非常适合薄膜沉积在电子、光电、MEMS、航空航天和医疗设备等应用。它包括了一系列的功能，使操作和精确的控制，使其适合应用要求的准确性和可重复性。