二手 CANON / ANELVA L-322S-FHT #293639204 待售

CANON/ANELVA L-322S-FHT溅射设备是一种先进的、工业领先的沉积仪器，用于在基板上沉积薄膜层。该调制溅射工具适用于生产需要精确控制和均匀厚度的薄、保形、高质量的沉积层。该型号提供最先进的光学设备，包括四孔、Eu-gun、板式分配器和装载室。它旨在容纳一系列目标材料，如铝、钛和铜，并满足生产力和均匀性方面最严格的要求。该仪器还提供先进的加热和冷却能力，使温度控制严密和可重复的结果。该系统可用于多种应用，如半导体器件和光电元件，得益于其先进的高性能沉积能力。该仪器有一个自动化机构，可以快速和高精度地调整压力、功率和溅射时间。这样可确保各种材料的污染和稳态性能最小。CANON L-322S-FHT提供了非常高的吞吐量，可以在一个周期内沉积高达6.7µm厚的层。该工具具有较大的均匀性区域，允许在大面积基板上均匀沉积。该装置高度可靠，生产产出的周期时间极短，效率很高。该仪器有一个全面的维护程序作为后盾，并配有一套诊断工具，旨在提供远程支持和故障排除。该机器还支持各种过程控制软件程序,使用户能够对其溅射操作进行编程并监控其产品质量。综上所述，ANELVA L-322S-FHT是为优化薄膜沉积而设计的高性能、高通量溅射工具。凭借其先进的控制资产、快速的周期时间和较大的均匀性区域，该仪器在广泛的应用中提供了高度可重复的结果。对于薄膜的可靠和经济高效的沉积，L-322S-FHT是一个强大和多用途的工具。