二手 CANON / ANELVA L-350S-C #9053825 待售
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CANON/ANELVA L-350S-C是一种用于制造过程的溅射设备。它是一种单源双枪机,能够生产多种材料,包括陶瓷、金属和聚合物。该机具有自动基板加载系统、用于参数调整的数字显示器和坚固的真空装置。数字显示允许用户友好的编程和操作,可以用来设置和监控溅射过程。偏置功率、溅射功率、压力、温度等参数可以在数字显示器上轻松准确地进行调节。机器还配备了自动气流控制装置,确保在整个溅射过程中保持所需的压力和气流速率。佳能L-350S-C的自动装载机有助于确保可靠和一致的基板处理。加载机构有一个跟踪工具,用于将基板移动到溅射室和从溅射室移动。该机器还具有特殊的等离子体成形资产,可确保所需的等离子体的精确数量,用于溅射所需的材料。该机还配备了坚固的真空模型,在整个溅射过程中保持稳定的压力和气体流量。真空设备由一台粗加工泵和两台高真空泵组成,允许低压运行和低污染水平。真空系统在1毫巴至10-6毫巴的压力范围内运行,允许在高达1000摄氏度的温度下运行。ANELVA L-350S-C是市场上最可靠的溅射系统之一。其高质量的设计、坚固的真空装置和自动化的基板装载机使其成为半导体制造过程中的理想之选。机器也是高度可定制的,允许用户微调自己的溅射过程,生产高质量的材料。
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