二手 CANON / ANELVA L-410S-FHL #9156826 待售

CANON/ANELVA L-410S-FHL是一种主要用于物理气相沉积（PVD）应用的溅射设备。该溅射系统由采用低压朗缪尔-欣谢尔伍德蚀刻工艺的真空室组成。这样做是为了在诸如玻璃、硅、塑料和金属等基板上创建薄而高度均匀的材料层。该装置分为两个阶段：一个带电子枪的主室和一个带溅射枪的副室。主室配有电子枪，由连接真空泵的丙烯酸钟形罐组成。电子枪产生一个电子束，用来沉积材料的薄层。这种光束是通过在两个金属电极之间施加电压而产生的。电压一般由步进电机控制。电子被加速，然后与目标材料的分子碰撞，导致它们分解并被推进到底物上。这一过程产生了整个表面厚度相等的保形涂层。次要腔室装有溅射枪，由丙烯酸铃铛罐组成。该枪用于将第二层薄薄的材料溅射到基板上。过程与电子枪相似，但溅射枪由三个电极组成。将带负电的目标材料置于阳极（带正电的电极）上。当在阳极和阴极之间施加电压时，离子会从目标材料中排出，然后与基板碰撞，在基板上沉积一层薄薄的材料。这一过程导致均匀覆盖，沉积率很高。CANON L-410S-FHL溅射机由于覆盖范围均匀，沉积条件温和，在电子、汽车、照明等多个行业都有应用。该工具可确保各种溅射沉积和PVD过程的准确性和可重复性。