二手 CANON / ANELVA L-430S-FHL #9107299 待售

CANON/ANELVA L-430S-FHL是一种溅射设备，设计用于用金属或其他材料的薄膜层涂覆材料表面。广泛应用于半导体、汽车、航空航天、医疗设备、光学、可再生能源等行业。该机由一个紧凑的前支撑单元、一个独立的后平台、一个基板（工件）运输的顶部平台和两个离子源臂组成。它配备了四轴自动溅射源对准系统、三个独立的旋转目标架、用于超高真空（UHV）操作的原位泵机以及自动化的样品快门机构。溅射源提供高功率和涂层均匀性，并且能够涂覆多达四种不同的材料。该机效率高，配备快速扫描激光干涉仪，实现精确溅射目标跟踪对准。快速扫描功能保证了溅射膜的优越均匀性。CANON L-430S-FHL还提供高持续沉积速率，额定在低于3.0x10-4 torr的压力下运行。该工具能够精确控制沉积速率、溅射角、离子浓度和电极电流，以优化工艺结果。ANELVA L-430S-FHL还设计了多种功能,以确保用户在操作过程中的安全。该机具有两步弧电控制、自动关门、远程应急按钮、接地电缆、灭火器等安全功能。该机具有易于使用的设计，并配备了几个数据记录和监控系统，以利于准确的过程跟踪和优化过程控制。该机器还设计用于连接制造系统，以促进自动化生产过程。总体而言，L-430S-FHL是一种先进的溅射资产，旨在为用户提供各种基材和材料上的最佳膜沉积性能。它是为精度和准确性加上安全性和可用性而设计的。该单元非常适合研发、光学膜的生产级溅射、工艺优化等应用。