二手 CANON / ANELVA SBH 2306DE #155740 待售

CANON/ANELVA SBH 2306DE是一种专为生产超薄膜而设计的溅射设备，是研发的理想工具。该系统配有三个磁控管阴极，最多可同时溅射三个目标。利用独特的射频溅射法，形成颗粒计数低的优质薄膜。阳极和阴极的排列使溅射源具有更高的沉积速率和更长的寿命。该装置具有一个温度控制的基板级，以便在广泛的温度范围内进行高质量的沉积。CANON SBH 2306DE可用于许多沉积过程，例如制造各种类型的显示器。它能够生产非晶硅和其他用于光电半导体应用的薄膜，如太阳能电池和OLED显示器。该机还适用于生产多层光学干涉滤波器、导电绝缘膜等先进薄膜设计。该工具设计有可变压力室和温度控制的基板支架，两者都保持在真空室中，以尽量减少沉积过程中的污染物颗粒。此外，该资产在反应室中提供了可调的负压，使得高质量的薄膜能够沉积。此外，ANELVA SBH 2306DE使用自动、高频、脉冲功率来维持可交换的等离子体密度和功率。其差动压力控制模型可确保最小的设备停机时间,因为它不需要定期手动维护。该系统配备了集成的流程监视器和实时数据记录功能，以监测沉积流程参数，显示内置控制面板，并记录各种参数，用于诊断。先进的可编程逻辑控制器（PLC）促进了设备的用户友好操作，最大限度地提高了溅射机的精度和可重复性。总之，SBH 2306DE是一种非常适合薄膜制造研究、开发和生产的溅射工具。它具有卓越的薄膜质量和精确度,具有先进的控制和数据记录功能,有助于确保薄膜的成功制造。该资产配有可调压室、变温基板支架和脉冲功率控制器，都有助于高效、一致和可靠的溅射。