二手 CANON / ANELVA SPC-530H #9053827 待售

CANON/ANELVA SPC-530H Sputtering Equipment是一种沉积系统,旨在将金属等材料薄膜高速度地沉积到基板上。该装置非常适合生产可靠且可复制的薄膜，适用于各种应用。CANON SPC-530H的灵活性和多功能性使其适合各种研究和行业应用。溅射机由气源、电源和真空室组成。该气源为溅射过程提供了必要的气体，其中可能包括氙气、氧气、氮气和其他化合物。电源为溅射过程提供可调节的电压和电流。此外,电源还配备了几种不同的模式和安全功能。真空室设计为保持金属壁温度、氧气气氛和压力水平，以保护薄膜免受氧化和其他不希望的反应。ANELVA SPC-530H能够将铜、铝、钛、不锈钢和铬等材料溅射到沉积速率高达10 µm/min的基板上。此外，该工具还包含用于控制目标电流的先进技术，使其适合任何溅射作业的过程优化。它也可以很容易地整合到现有的设施中，并且与各种基材兼容。SPC-530H包括一个智能液气流量控制资产与双气体入口阀。该模型有助于防止氧化，并在溅射时控制目标压力。此外，该设备还配备了可靠的真空系统，能够将腔室压力维持在0.1帕或以下。佳能/ANELVA SPC-530H由于其液晶显示屏、六种电压显示屏以及USB或GPIB接口而享有用户友好的操作。该单元还配备了高级诊断功能，可实时监控关键进程状态。此外，CANON SPC-530H还设计了一种先进的过滤机，提供恒定的清洁度。这些过滤器经过专门设计，可以从工具中去除固体颗粒，并确保高质量的溅射过程。资产还包括各种安全机制，有助于保护经营者和产品。ANELVA SPC-530H是一种先进、可靠、用途广泛的薄膜沉积模型，适用于各种应用。它的特点允许用户以高速率生产一致的高品质薄膜。此外，其用户友好的操作、安全机制和先进的过滤设备使其成为研究和工业应用的理想系统。