二手 CANON / ANELVA SPC-530H #9284126 待售

CANON/ANELVA SPC-530H是为各种类型的薄膜沉积而设计的高性能溅射设备。该系统利用电子控制的高频溅射工艺将材料薄膜涂在基板上。它具有紧凑、坚固的设计,在工具制造和材料研究等工业环境中具有卓越的性能。CANON SPC-530H包括一个带钛溅射目标的涡轮泵浦真空室和一个高性能电子束枪。这使得材料的溅射速度极快和精确，从而产生精确的层厚度和均匀性。该单元能够以不同的参数在广泛的应用中运行，如腔室压力、基板温度和转速。ANELVA SPC-530H具有确保所需层均匀沉积的特殊机制。这包括一个规范驱动控制器，它具有一系列工具来调整参数，以精确控制薄膜厚度、均匀性和均匀性。该机配备了广泛的基材，包括硅片、模迭、玻璃盘等。SPC-530H还带有一个高精度级可靠的基板载荷。舞台具有自动电动升降机功能，可用于手动基板的换挡和定位，以及允许斜角涂层的电动倾斜功能。CANON/ANELVA SPC-530H还具有高效气体利用功能,可节省成本和优化工艺,同时减少污染和环境影响。此外，该工具还包括用于监测溅射条件和薄膜沉积后分析的高精度测量装置。这确保了以最小的能耗进行可靠的过程控制。CANON SPC-530H是用于薄膜沉积的紧凑而全面的资产,它提供了多种功能,可提高效率、节省成本和可靠性。凭借先进的技术和令人印象深刻的性能,ANELVA SPC-530H是业界优质制造的理想选择。