二手 CANON / ANELVA SPF-210H #9284046 待售

CANON/ANELVA SPF-210H溅射设备是一种高效的系统，用于制造薄膜、氧化物和多层结构。它利用高频射频电源在目标材料上覆盖惰性气体。将直流偏压施加到基板上以形成均匀的薄膜。佳能SPF-210H由一个主室、目标、两个电源、一个直流偏置电源、一个磁控管放电源和一个真空室组成。主室温度控制，保证膜沉积均匀。目标材料，如铝或其他金属，由高性能磁铁固定在溅射室中，作为磁瓶。这允许大面积和均匀的目标溅射。目标表面被引起溅射的高频射频信号或目标材料的等离子体脱离轰击。信号由磁控管放电源产生。四象限直流偏置电源提供高沉积速率。溅射粒子保持带电，直流偏压用作将带电粒子推入基板的加速器。将基板放置在腔室中，并保持温度，以确保均匀和坚固的薄膜沉积。腔室是一个真空腔室，为了提供高质量的薄膜沉积工艺，将其下泵至1 Torr。ANELVA SPF-210H还利用高效抽油机在溅射过程中保持腔室压力。另外，注入气体溷合良好，保持稳定流量，产生可再现且可靠的薄膜。SPF-210H是制造氧化物和多层薄膜的理想选择。它是一种小巧易用的溅射机，几乎不需要维护，能够在大面积生产均匀、坚固的薄膜，而无需复杂的抛光工艺。CANON/ANELVA SPF-210H非常适合许多应用,包括各种金属的溅射、透明导体、陶瓷材料和光学薄膜。