二手 CANON / ANELVA SPF-210H #9382541 待售

CANON/ANELVA SPF-210H是为薄膜沉积工艺设计的干式溅射设备。该系统非常适合制造光电元件、平板显示器和薄膜磁头等应用。这个溅射装置有一个1,000-W的单频功率放大器，能够溅射各种材料。机器被封闭着一个高真空室，能够达到10-6 Pa（10-7 Torr）的真空水平。此外,CANON SPF-210H还具有全自动阳极组件、具有2轴运动的样品级、射频（RF）发生器和等离子体监视器。所有这些组件都是通过计算机接口控制的。阳极组件由一个固定在腔室内的中央杆和4个对位电极组成。它还具有有助于最大限度地减少颗粒产生的水冷却机制。样品台安装在线性运动导轨上，射程为10毫米x 10毫米。射频发生器由感应线圈和LC耦合电路组成。这使得工具可以在对基板或被沉积的材料造成最小损害的情况下溅射材料。等离子体监测仪能够测量功率密度、电子温度和电子数密度等等离子体参数。这有助于资产实现同质沉积剖面。此外，ANELVA SPF-210H还配备了电弧损伤预防模型（ASDS）。该设备通过降低电弧电压和防止高频电弧,帮助保护样品免受任何可能的损坏。SPF-210H是一种可靠高效的溅射系统，可用于各种沉积过程。其自动化功能和先进的监控系统使其易于使用并提供卓越的效果。它是任何薄膜沉积工艺要求的理想解决方桉。