二手 CANON / ANELVA SPF-312 #9299212 待售

CANON/ANELVA SPF-312是一种用于薄膜沉积技术的多功能溅射设备。该系统旨在对薄膜沉积过程进行精确有效的控制，包括溅射、蒸发和反应性溅射。CANON SPF-312提供了多种功能,能够提供对薄膜质量的卓越控制,包括厚度、成分和均匀性。这种溅射装置具有300毫米x 4英寸直径的圆形或方形旋转阴极目标。循环目标被加热和冷却,以更精确地控制薄膜的质量和效率.目标被两步磁场包围，该磁场可调节以实现均匀溅射速率。均匀溅射速率是通过直流和射频源的组合实现的，向目标传递精确而均匀的功率。ANELVA SPF-312中使用的气体是根据具体应用选择的，可以由Ar、Ar/O2、Ar/N2、Ar/O2/H2或任何带有额外添加剂的惰性气体组成。该机在基板上还具有全方位的可调压力，范围从几毫到1托。这种广泛的可调压力范围允许在沉积过程中精确控制压力。SPF-312配有挡板工具，可以调整以实现湍流，使目标更均匀覆盖。挡板资产也用于防止目标被蒸发材料侵蚀。该模型具有高达1,000 Å/hr的高速率沉积速率，均匀度为5%或更低。这种多功能溅射设备设计用于多种应用，如在面包板、太阳能电池、半导体、液晶和OLED显示器、玻璃以及各种陶瓷材料上提供涂层。它也可以用适当的等离子体活化来製造金属和其他薄膜沉积层到基板上。该系统还可用于生产多层薄膜，同时控制薄膜的厚度、成分和性质。总体而言,CANON/ANELVA SPF-312是一种多功能溅射装置,具有广泛的特性和功能,非常适合薄膜沉积工艺。它具有可调阴极、磁场、可调压力等特点，是一种可靠、坚固的溅射机，可提供优越的薄膜质量和均匀性。