二手 CANON / ANELVA SPF-312W #9031244 待售
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ID: 9031244
优质的: 1990
Sputtering system
Substrate size: 105 x 105 mm
Taget: 75 mm
Cryo pump
1990 vintage.
CANON/ANELVA SPF-312W是从已经流行的SPF-312系列衍生出来的多功能真空溅射设备。该机设计用于生产广泛的薄膜产品,如磁性记录介质、电子元件、建筑装饰等特殊材料,在真空中使用物理沉积。CANON SPF-312W采用三轴设计,采用模块化体系结构,可同时使用定制组件和市售组件。该系统的功能包括一个负载锁定、8目标磁控管和双溅射枪。磁控管溅射目标本身由一个有五个"V-"形磁体的单体组成。这种设计为目标在三个轴上的移动提供了卓越的可控性。溅射尾巴在整个目标上提供均匀的溅射轮廓,而易于操作的手动调整则允许选择所需的溅射功率和速度。除了溅射外,机器还具有多种附加功能,如蒸发和电子束沉积。灵活的输入/输出设备选项,包括USB和RS-232接口,使机器高度通用,允许与其他设备和系统轻松集成。高效真空控制单元设计用于在低真空环境下保持颗粒在低于10-10 Torr的压力下。此外,机器还配备了各种参数的自动校准,包括压力和生产薄膜的自动工艺。ANELVA SPF-312W上直观且用户友好的界面专为易于使用而设计。多点触摸显示屏使用户可以快速访问各种参数和操作,包括设置工具和控制生产过程。内置监视器实时显示有关生产状态、压力和温度的有用图形信息。总体而言,SPF-312W是一种多功能溅射资产,设计用于生产即使是最具挑战性的电影产品。它的模块化设计、用户友好的界面和广泛的工艺控制功能使其非常适合用于各种应用,包括薄膜生产和涂层工艺。
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