二手 CANON / ANELVA SPF-332H #9048858 待售

CANON/ANELVA SPF-332H溅射设备是一种自动化的界面溅射系统，采用磁质控制技术。它设计用于极高精度的蚀刻、沉积和电镀作业，面积可达15厘米乘30厘米。该装置设计用于半导体工业的实验室和生产厂。该机配有计算机数控（CNC），配有多板溅射头，用于在受控环境中溅射不同的材料。Multiplate sputter head是为提高吞吐量和提高产量而设计的。设计中包含的磁性屏蔽确保离子轰击最小化，并确保粒子以均匀方向溅射。该工具配备了专有的闭环溅射电源和等离子体激发加热器，确保该过程保持高度可重现和准确。该资产是完全可编程的,允许您自定义配方、创建自定义流程条件以及在流程之间轻松切换。利用先进的软件和图形用户界面，该模型可用于高温过程的自动、实时控制。该设备还具有自动气体流量调节、溅射弧数和用于监测溅射过程的光发射光谱监测系统。该单元配有一个锁载室，以减少改变工作气氛所需的时间或防止工作环境受到污染。它有10个负载锁,为用户优化流程和提供灵活的样本处理提供了额外的灵活性。该机还包括一个排气工具，以安全清除危险的过程气体。该资产符合世界许多最严格的标准，如JEDEC、SEMI等，使其适合在许多实验室、工业生产线和其他先进实验室使用。它也非常适合用于汽车、航空航天和医疗设备的应用。总体而言,CANON SPF-332H溅射模型是一种用户友好的溅射设备,具有先进的功能,可实现快速、准确和经济实惠的过程。它为不同行业的各种先进工艺提供了更高的吞吐量和更高的产量。