二手 CANON / ANELVA SPF-410H #9048859 待售

CANON/ANELVA SPF-410H是一种高精度溅射设备，设计用于在各种基板上制造薄膜涂层。该系统由四个主要部件组成：主室、电源、磁控管和各种探测器。主室是放置要涂覆的基板或材料的室。该室配有惰性气体供应装置和真空监测和控制装置。电源是负责提供产生等离子体的电压的组件。电源设置到一定水平，以确保等离子体密度适合溅射过程。磁控管枪是机器中产生强烈磁场的组件，从而给离子一条穿越真空的路径。各种探测器测量等离子体密度、离子通量和其他需要监测的参数。该工具具有可变电源，适用于不同类型的溅射过程。电源可以在0到2000V之间产生，并且可以设置在不同的频率，范围从直流到120 KHz。这使得它可以用于反应性溅射、离子气相沉积和阴极电弧蒸发等过程。CANON SPF-410H的多功能性使得它成为许多不同应用的合适选择。资产优越的真空和等离子体稳定性使得它可以用于光学涂层、半导体制造、薄膜沉积等工艺。模型的高精度也允许它用于MEMS、半导体器件、光电探测器等精密溅射过程。设备的长期运行由一系列反馈传感器维持。这些允许调整腔室压力以保持所需的沉积速率，调整等离子体密度以防止污染，以及评估目标区域以监测系统的运行。ANELVA SPF-410H提供了广泛的功能，确保它是一个可靠和精确的溅射单元。该机强大的电源、卓越的真空和等离子体稳定性，以及通用的探测器，使其成为各种薄膜应用的合适选择。