二手 CANON / ANELVA SPF-430 #9122965 待售

CANON/ANELVA SPF-430是由CANON和Toyota Central Research LAB一起开发的多功能溅射设备，是一种高度通用的工具，能够在超高真空和大气压力下将材料均匀和定向涂覆到基板上，使其在许多行业中的应用日益广泛。佳能SPF-430的腔室容量为450升，设计用于多层系统、X射线镜和传感器等多种溅射应用。腔室本身是一种溷合设计，提供超高和大气溅射技术。它是由不锈钢与集成冷冻泵和B-DTE管为改进散热。对基板、腔室、溅射阴极等部件进行了专门开发和优化，以实现高真空溅射操作的最佳性能。ANELVA SPF-430具有磁控管溅射、SIMS植入和热蒸发能力.该系统能够长时间连续运行，使得背面溅射成为可能。此外，它还支持两轴和三轴化学气相沉积，以及旋转底物的能力，这对于制造多层系统特别有用。该装置还具有改善沉积材料在基板上的附着力的独特特性。这是通过在溅射之前对目标施加高压（称为预溅射）来实现的，这使得材料能够更紧密地粘附在基板表面。SPF-430包括一台计算机控制的数据采集机，它记录和存储每个溅射过程中的数据。这些数据对于分析工具的操作及其整体性能至关重要。此外，资产还包括一个安全控制电路，用于监测压力、温度和其他参数，并在检测到任何不规则性时关闭模型。总体而言，CANON/ANELVA SPF-430是一种非常高效、功能强大的多功能溅射设备，具有适合许多表面涂层应用的特点。它能够进行广泛的操作，加上长时间的连续操作和稳健的安全特性，使其成为许多工业过程的理想选择。