二手 CANON / ANELVA SPF-510 #9148249 待售

CANON/ANELVA SPF-510是一种先进的薄膜沉积设备，设计用于金属和介电薄膜的溅射沉积。该系统针对平面和曲面薄膜沉积进行了优化。CANON SPF-510的特色是一个带有6英寸圆形沉积区域和四门1英寸MN源炮的超高压室。该装置能够在工艺温度高达800°C的情况下进行高通量薄膜沉积。该机设计用于多种科研领域，包括材料科学、微电子学、MEMS/NEMS和薄膜太阳能电池。ANELVA SPF-510具有一个高纯度抽水工具和一个全金属门阀，允许低室压操作低至1 × 10-3 Pa。该资产还配备了一个实时腔压监控器，以实现最佳的过程控制。该型号的源炮具有高效率的源电源，提供500 W至5 kW的广泛溅射功率。这允许快速沉积速率（最高10 nm/s），具有出色的均匀性和均匀性。该设备可与扁平晶片、管状基板等直径达25.4mm的大型基板配合使用。除了溅射沉积，SPF-510还支持反应性溅射。该系统具有受保护的射频电源,可实现高级过程控制和均匀性。该单元配备了多通道比例度量控制器，允许对溅射过程参数进行全面调节，如目标厚度、沉积速率、压力等。CANON/ANELVA SPF-510易于安装和操作。机器带有一个直观的用户界面，允许快速的进程参数设置。该工具设计用于生产环境中可靠、稳定的操作。此外，该资产还具有高性能的数字前馈闭环温度控制模型，用于精确和可重复的处理。总体而言，佳能SPF-510是为高通量薄膜沉积而设计的先进溅射设备。该系统的特点允许对金属和介电薄膜的沉积进行精确的工艺控制。该装置易于安装和操作，非常适合各种薄膜沉积应用。