二手 CANON / ANELVA SPF-540H #9053829 待售

CANON/ANELVA SPF-540H溅射设备是一种精密溅射沉积系统，设计用于许多不同的应用。凭借其先进的设计，这个先进的单元能够通过对组成、质地、形态等参数的精确控制，在多种基板上精确处理薄膜。这台独特的机器可用于多种类型的应用，包括制造高端研究和生产工具。CANON SPF-540H单元包括一个沉积室，该沉积室容纳一个三室旋转磁控管、一个电源、一个离子源、一个溅射靶和一个带有多边形/旋转基板支架的直流电源，以便在沉积过程中将基板固定到位。该单元还包括一个玻璃自旋和热解玻璃。它可以用于从薄膜沉积到大面积整体CVD工艺的多种过程。电源配置为控制溅射和离子源的直流脉冲强度,并且能够承受各种输出电压、电流范围和循环速率。腔室可以处理过程中高达1000 °C的温度，目标能够相对于基板旋转。旋转磁控管能够在底物上提供均匀的沉积，离子源可以被编程成多种沉积剖面。沉积物在沉积过程中可以在基质上进行监测，溅射源可以被编程成多种成分。此工具还与多种类型的监视软件兼容,从而可以轻松、实时地监视过程。此外,还可以远程操作ANELVA SPF-540H,这意味着可以从远程位置监视和控制资产。总体而言，SPF-540H是一种功能强大、用途广泛的溅射沉积模型。适用于多种应用，可在多种基材上精确加工薄膜。其先进的设计和从远程位置监视和操作的能力使其成为各种用户的理想工具。